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邢廷文

邢廷文, 最高學(xué)歷,研究生

工作單位中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

 

個(gè)人簡(jiǎn)歷

1981.091985.06   華中科技大學(xué)(原華中工學(xué)院)光學(xué)系學(xué)習(xí),獲學(xué)士學(xué)位

1985.091988.06   中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所學(xué)習(xí),獲碩士學(xué)位

1988.061995.06   中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作              

1995.061996.10   日本國(guó)東京工藝大學(xué)光學(xué)系統(tǒng)研究室進(jìn)修

1996.101999.09   日本國(guó)NALUX(又名日本非球面)公司工作

1999.092000.01   中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作

2000.012003.02   中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作,應(yīng)用光學(xué)研究室主任

2003.022008.05   中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作,微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任

2008.5—          中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作,應(yīng)用光學(xué)研究室主任

研究主要成果

   參加完成了光纖傳像望遠(yuǎn)鏡/潛望鏡系統(tǒng)、眼科手術(shù)顯微鏡、系列高檔手術(shù)顯微鏡、亞微米投影光刻物鏡、紫外成像物鏡、紅外成像物鏡、觀測(cè)設(shè)備等系統(tǒng)的研制。獲得省部級(jí)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)2項(xiàng)、二等獎(jiǎng)2項(xiàng)、三等獎(jiǎng)1項(xiàng),在國(guó)內(nèi)外發(fā)表論文32篇,申請(qǐng)發(fā)明專利11項(xiàng),合作專著一本。

精通的專業(yè)和設(shè)備

    主要從事光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭、光學(xué)儀器的研究開發(fā)工作,涉及光學(xué)儀器的總體方案制定、光學(xué)設(shè)計(jì)、光機(jī)設(shè)計(jì)、系統(tǒng)檢測(cè)、光電探測(cè)器的應(yīng)用。精通的主要設(shè)備包括精密長(zhǎng)度、角度、表面形狀、表面粗糙度、光學(xué)材料特性等測(cè)試設(shè)備,紅外特性測(cè)量設(shè)備,光電探測(cè)設(shè)備,光電成像設(shè)備等。

在研項(xiàng)目

    純反射式紅外光學(xué)系統(tǒng),投影光刻曝光光學(xué)系統(tǒng)等。

未來(lái)研究方向

    微電子光刻技術(shù),特種光學(xué)技術(shù)

待轉(zhuǎn)化的專利或成果

    微極大規(guī)模集成電路中光刻機(jī)的投影曝光光學(xué)系統(tǒng)的研制已經(jīng)進(jìn)入集成階段,產(chǎn)生了一批專利,成果有待轉(zhuǎn)化。

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