胡松，男 最高學(xué)歷，博士
工作單位：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
個人簡歷
1988/08，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所，微電子裝備與生物芯片總體研究室，研究員，博士生導(dǎo)師。四川省學(xué)術(shù)帶頭人后備人選，2005年入選中國科學(xué)院“西部之光”人才計劃。
一直從事微細光學(xué)技術(shù)專用設(shè)備、生命科學(xué)儀器的研制工作。先后承擔(dān)二十多項微電子光刻裝備領(lǐng)域“七五”、“八五”、“九五”、“十五”國家科技攻關(guān)，中科院重大項目，國家“863”項目，國家自然科學(xué)基金等，具有豐富的項目研發(fā)經(jīng)驗。
2004年作為主要負責(zé)人之一完成中科院知識創(chuàng)新工程重大方向性項目——“生物芯片儀器研制”，主持研發(fā)成功“激光共聚焦生物芯片掃描儀”和“CCD生物芯片閱讀儀”，通過在德國、法國試用和權(quán)威機構(gòu)檢測表明，激光共聚焦生物芯片掃描儀屬于國際先進水平。通過中國科學(xué)院主持的鑒定，并獲四川省科技進步二等獎；
近年來，在高新技術(shù)研究以及儀器設(shè)備研發(fā)方面，承擔(dān)了多個國家項目。作為課題負責(zé)人承擔(dān)國家自然科學(xué)基金3項，包括“基于光柵調(diào)制空間相位成像納米對準相位解析研究（60976077）”，“高數(shù)值孔徑光子篩偏振成像機理研究（61076099）”，“大數(shù)值孔徑光子篩成像的像差特性研究（61376110）”，在前沿技術(shù)研究領(lǐng)域取得了豐碩成果。在儀器設(shè)備研發(fā)方面，作為副總設(shè)計師承擔(dān)國家重大儀器專項、國家重大專項各一項，作為課題負責(zé)人承擔(dān)國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃（863計劃）一項，積累了豐富的大型工程項目研發(fā)經(jīng)驗。此外，作為課題負責(zé)人，主持開發(fā)URE-2000系列光刻機，包括單、雙面深度曝光機、無掩模光刻機、大面積光刻機、投影光刻機等多種類型，累計銷售400余臺，并開創(chuàng)了我國微電子光刻裝備出口國外的先例，在儀器設(shè)備研發(fā)方面具有較強的研發(fā)實力。
發(fā)表科技論文100余篇，作為副主編出版微電子裝備制造專著一本（《光學(xué)投影曝光微納加工技術(shù)》），授權(quán)專利20余項。曾獲中科院院長獎學(xué)金和中科院劉永齡獎學(xué)金。多次被評為中科院及研究所先進工作者、優(yōu)秀共產(chǎn)黨員和標兵。2009年《光學(xué)投影曝光微納加工技術(shù)》，獲得中國大學(xué)出版社優(yōu)秀學(xué)術(shù)著作二等獎；2010年獲得四川省有突出貢獻優(yōu)秀專家；2012年，中國科學(xué)院成都分院優(yōu)秀導(dǎo)師；2014年獲得四川省第七屆勞動模范和先進工作者稱號，2015年，獲得政府特殊津貼。
研究主要成果
發(fā)表SCI論文30余篇，國家發(fā)明專利60余項，撰寫專著一部。
代表性論文：
1)Chengliang Di, Song Hu, Wei Yan, Yanli Li, Guang Li, and Junmin Tong. Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography [J]. IEEE Photonics Journal, Vol. 6, No. 3, 2014, (06).
2)Zhu, Jiangping; Hu, Song; Yu, Junsheng.; Zhou, Shaolin*; Tang, Yan; Zhong, Min; Zhao, Lixin; Chen, Minyong; Li, Lanlan;
He, Yu; Jiang, Wei" Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography,OPTICS EXPRESS,21(3),3463-3473,2013
3)Gao, Hongtao*; Hu, Song; Du, Chunlei; Zhang, Yudong,Theoretical model for manipulating light distribution in the time
domain by using a spatially homogenous dynamic medium,JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS,30(3),622-625,2013
4)dZhu, Jiangping*; Hu, Song; Yu, Junsheng; Tang, Yan; Xu, Feng; He, Yu; Zhou, Shaolin; Li, Lanlan,Influence of tilt moire
fringe on alignment accuracy in proximity lithography,OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING,51(4),371-381,2013
5)Tang, Yan*; Hu, Song; Yang, Yong; He, Yu,Focusing property of high numerical aperture photon sieves based on vector
diffraction,OPTICS COMMUNICATIONS,295,1-4,2013
代表性專利：
1)胡松，嚴偉，李艷麗，一種基于邊緣檢測的生物芯片樣點識別方法，201110006888.6，授權(quán)
2)王建，趙立新，徐文祥，嚴偉，胡松，一種用于光刻設(shè)備中的光束穩(wěn)定裝置，201010582736.6，授權(quán)
3)邢薇，趙立新，胡松，王建，李金龍，一種動鏡彈性支撐裝置，201210026273.4，授權(quán)
4)邢薇，胡松，王肇志，一種光刻機中的片夾上片自動軸向定位鎖緊裝置，201110236547.8，授權(quán)
5)邢薇，胡松，王肇志，楊勇，一種投影物鏡柔性機構(gòu)調(diào)平裝置，201110236543.X，授權(quán)
6)邢薇，王肇志，胡松，一種光刻機機中的輸片雙穩(wěn)態(tài)水平鎖緊裝置，201110236926.7，授權(quán)
7)唐燕，胡松，趙立新，嚴偉，一種交織型光子篩，201110025563.2，授權(quán)
8)李艷麗，胡松，嚴偉，王建，邢薇，楊勇，陳銘勇，一種可調(diào)光束能量衰減裝置，201010572547.0，授權(quán)
9)李金龍，胡松，趙立新，徐峰，李蘭蘭，盛壯，一種空氣靜壓止推軸承，201110064971.9，授權(quán)
10)邢薇，胡松，趙立新，徐文祥，胡淘，陳磊，一種光刻機真空曝光裝置，201010605511.8，授權(quán)
11)陳銘勇，胡松，李艷麗，一種用于投影光刻中焦面檢測的光學(xué)系統(tǒng)，201010605515.6，授權(quán)
精通的專業(yè)和設(shè)備
長期從事微電子裝備關(guān)鍵技術(shù)及整機研究。精通微電子裝備相關(guān)高均有性照明技術(shù)、高精度工件臺技術(shù)、高精度檢焦及對準技術(shù)、高分辨力投影物鏡成像技術(shù)以及高端光刻裝備整機集成等關(guān)鍵技術(shù)。熟悉紫外接近接觸式光刻機、紫外投影光刻機、數(shù)字無掩模光刻機、3D打印光刻機、納米壓印光刻機， ArF光刻機、EUV光刻機等微電子專業(yè)設(shè)備。
在研項目
國家重大專項，2009ZX02204-004,”ArF曝光系統(tǒng)研制”，
國家重大專項，2008ZX02501-007，“極紫外光刻原理實驗裝置機械與真空系統(tǒng)研制”
國家重大科研裝備研制項目，“超分辨光刻裝備研制”
國家自然基金項目，61376110，大數(shù)值孔徑光子篩成像的像差特性研究
未來研究方向
ArF光刻技術(shù)，EUV光刻技術(shù)，掃描式3D光刻技術(shù)。
待轉(zhuǎn)化的專利或成果
掃描式3D光刻技術(shù)，通過xyz三個維度上的掃描運動，結(jié)合數(shù)字微鏡陣列實時控制，實現(xiàn)任意三維結(jié)構(gòu)加工。該技術(shù)與現(xiàn)有3D光刻技術(shù)相比，通過掃描曝光具有加工速度快、加工面積大、精度高等特點，并且可與多層套刻、電鍍、電注等手段結(jié)合，多不同區(qū)域內(nèi)的結(jié)構(gòu)材料進行復(fù)合調(diào)制、可實現(xiàn)真三維結(jié)構(gòu)加工等優(yōu)點。該技術(shù)不僅有望在微細加工領(lǐng)域取得應(yīng)用，完成三維集成電路、MEMS器件、微光學(xué)元件等特殊結(jié)構(gòu)三維微納器件的加工，而且有望在宏觀加工領(lǐng)域如非球面加工、自由曲面加工等取得應(yīng)用，對傳統(tǒng)加工手段進行 突破性的改變。
